范文一：平晶使用 平面平晶使用方法

平晶使用

Webon快速平面度检检一,首先采用平面检检检器

检磨后的器件平面采用平面度检检检定初步精度研

如磨后的器件到研达5um以 可以用平晶检行检检内

未到 检检磨 器件可以不用下检。达研

FG-5 检检120以内

FG-7 检检170以内

FG-9 检检220以内

FG-30 检检650以内

二 到达5um以用平面平晶检检内体

,首先看是否有检。是否合格条

以300的密封器件检例的。

检检的整面 必检首先看到同心检才合格个

2um的面型精度 整面的同心检检 小于个条3个

1个条同心检检精度大于在0.8um

3个就是2.4um左右

也就是检必检是小于3个条的同心检检才合格。

N<>

Cdw-30I30mm15mmΦ30

Cdw-45I45mm15mmΦ45

Cdw-60I60mm20mmΦ60

Cdw-80I80mm20mmΦ80

Cdw-100I100mm25mmΦ100

Cdw-150I150mm30mmΦ150

Cdw-200I200mm40mmΦ200

Cdw-250I250mm45mmΦ250

Cdw-300I300mm45mmΦ300

Cdw-350I350mm45mmΦ350

CDX-ML18 CDX-ML30

三 。以下是检检中出检的检检。会

条检非常密集。

两况检情。1. 加工出得元件精度检检不检。

2. 平晶和元件之检有物 灰检 检理干检异没

条乱检非常

情是 加工的磨检凹凸不平 不在一平面上。元件磨后整面就是的、况研个研个乱

同心检检圈太多。条数

情是 元件精度检不检 检检磨直到检圈少于况达研数3个。

以上的假检的情 检检情有检化 检及检检系我检况况

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我检致力于做全球最好的光检检检品

范文二：平面平晶的使用方法与保养

平面平晶的使用方法与保养

1、测量前，先用高纯度酒精和乙醚混合液或乙醚清洗被测表面与平晶工作面。再用纺绸或亚麻布轻揩，然后使平晶边缘与测量面接触，逐渐减少平晶倾斜，使整个面接触，调整平晶与被测表面之间的夹角；直到出现清晰的干涉条纹为止。若出现的干涉条纹较密且不能减少时，说明被测表面上有灰尘或杂物，应再次清洗。

2、被测表面应光洁、无划痕、碰伤和锈蚀。

3、切勿把平晶压在被测表面上硬推，以免拉毛平晶工作面。

4、在平晶使用中要求室内温度稳定。由于平晶的传热性能差，温度的不稳定会使平晶内部温度分布不均匀而引起变形，从而影响其平面度。对于越大的平晶其影响也越严重。如它的上下表面有温差时，会产生弯曲变形；中心与边缘有温差时，就会变凸或凹。一般当温度上升时，平面变凹；反之变凸。因此，在测量时平晶与被测表面应等温一段时间，直到干涉条纹形状不再变化或变化较少后方能进行测量，否则将由平晶与被测面之间的温差产生变形而影响测量的准确性。 为了减少温度对测量的影响，在高精度测量时，平晶应避免直接用手握持，而用专用夹具或垫以亚麻布等。同时要有若干块平晶交换使用，以减少手热的影响。

5、两平晶的工作面不能相互研合，否则将会损坏平晶工作面。

范文三：平面平晶 使用说明

平面平晶 使用说明

使用说明书

中国 上海

南京米厘特精密仪器有限公司

(上海米厘特公司南京分公司)

一级平晶 平面平晶

产品名称：平面平晶 一级平晶

产品型号：Ф30mm ；Ф45mm ；Ф60mm ；Ф80mm ；Ф100mm ；Ф150mm ；

Ф200mm ；Ф250mm ；Ф300mm

厂 商：南京米厘特精密仪器公司

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一级平晶 平面平晶

平面平晶主要和NG-C2高精度钠光灯箱（钠光灯）配套使用，用于以干涉法检验块规、量规、零件密封面、测量仪器以及测量工具量面的研合性和平面度，适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用，也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。 简介

具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。

光学测量平

面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为：1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。

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平面平晶：是以光波干涉原理为基础，利用平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的平面度。

平面平晶：用于检定量块的研合性和平面度以仪器和量具的测量面、工作面的平面度，例如，平面光学零件、高级平台、平板、导轨、密封件等。亦可用于检定高精度的平面零件。

平面平晶：特别适用于计量单位、实验室作为标准平面和样板。

NG-C2高精度钠光灯箱（钠光灯）如下图：

上海米厘特精密仪器有限公司南京分公司 南京市中山东路518号

电话：025-85637775，18952043775 传真：025-85637775 邮编：210002

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范文四：平面平晶

平面平晶 简介

具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生

光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差. 平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。

国家标准

JJG28-2000 成都威博恩快速检验标准

http://hmw055092.chinaw3.com/Dopticalfalt.asp

用途

平行平晶是用于以干涉法测量块规，以及检验块规、量规、零件密封面、测量仪器及测 平晶

量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。

适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用，也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。 规格

1、平面平晶 CDW-1 标准外形尺寸 单位：mm 规格30 45 60 80 100 150 200 250 直径30 45 60 80 100 150 200 250 高度15 15 20 20 25 30 40 40 平晶 特殊规格尺寸平面平晶, 环形平面平晶, 方形平面平晶可定做.

2、平面平晶制成两种精度： 1级

和 2级

3、平面平晶工作面的平面度偏差允许值为： 直径为 30至60mm 1级平晶 0.03μm 直径为 30至60mm 2级平晶 0.1 μm 直径为 80至150mm 1级平晶 0.05μm 直径为 80至150mm 2级平晶 0.1 μm 更大尺寸平面平晶平面度偏差允许值，根据国家标准。 4、平面平晶工作面的局部偏差允许值为： 0.03μm 5、平面平晶测量工作应在室温2 0℃±3℃条件下保持数小时后进行。 测量方法

平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法（图2）, 也称技术光波干涉法。测量时, 把平晶放在被测表面上, 且与被测表面形成一个很小的楔角 θ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小, 则由平晶测量面P 反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行, 且分布均匀, 则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)

λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm, ν为干涉带弯曲量，ω为干涉带间距。

范文五：平晶平面度测量方法的研究

第,,卷第,,期 计 量 学 报 ,,,(,,(?,, ,,,,年,,月 ,,,, ,,,,,，,,，,, ,，,，,, ,,;,,,,,，,,,,,,,:,,(,,,,,,(,,,,(,,,,?,,,,(,,,,(,,(,, 平晶平面度测量方法的研究 孙佳媛,， 陈磊,，徐晨, (,(上海市计量测试技术研究院，上海,,,,,,; ,(南京理工大学电子工程与光电技术学院，江苏南京,,,,,,; ,(中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所，江苏南京,,,,,,) 摘要:针对不同精度平晶的测量要求，介绍了,种平晶平面度的测量方法。阐述了比较测量的原理以及测量 精度的局限性。对于高精度平晶的检测，介绍了,种绝对测量的方法。对这,种方法编制了模拟程序和数据处理 程序，并进行了实验。不同方法的测试结果符合较好，面形评价数据在相同数量级上，验证了测试方法的可行性， 实现了无参考面的高精度测量。 关键词:计量学;光学测量;平面度;,,,,,三面互检法 中图分类号:,,,,, 文献标识码:, 文章编号:,,,,,,,,,(,,,,),,,,,,,,,, ,,,,, ,, ,

,,,,;,, ,,,, ,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,, ,,

,, ,,,—,,,,,，,,,, ,,,,，,, ,,,,, (,(,,,,,,,, ，,,,,,,,, ,, ,,,,,,,,,,, ,,, ,,,,,,, ,,;,,,,,,,，,,,,,,,, ,,,,,,，,,,,,;, ，,,,,,,,, ,, ,,,;,,,,,; ,晒,棚，，, ,,, ,,,,,,,,;,,,; ,,;,,,,,,,，,,,,,,, ,,,,,,,,,, ,, ,;,,,;, ,,, ,,;,,,,,,,，,,,,,,,，,,,,,,, ,,,,,,，,,,,,; ,(,,,,,,, ，,,,,,,,, ,, ,,,,,,,,,;,, ,,,,;,,,,;,,,,,,,，,,,,,,, ,;,,,,, ,, ,;,,,;,，,,,,,,,，,,,,,,, ,,,,,,，,,,,,) ,,,,,,;,:,, ,,,, ,,, ,,,,,,,,,,, ,,？,,,,,,,,, ,, ,,, ,,,,;,, ,,,,, ,,,, ,,,,,,,,, ,,,;,,,,,，,,,,, ,,,,,,, ,,, ,,,,,,,;,,(,,, ,,,,,, ,, ;,,,,,,,, ,,,,,,,,,,, ,,, ,,, ,,,,,,,,,,, ,, ,,,,,,,,,,, ,,,;,,,,, ,弛,,,;,,,,,(,,, ,,,,,,, ,弛,,,,,,,;,, ,,, ,,, ,,,,,,,,,,, ,, ,,, ,,,,;, ,,,,, ,,,,， ,,,, ,,,;,,,,,(,,, ,,,,, ,,, ,,,,,,,(,,,,,,,,,, ,,,,,,,, ,,, ,,,, ,,,;,,,,,, ,,,,,,, ,,, ,,,,,,,,,, ,,, ,,,,,,,,,,, ,,, ;,,,,,, ,,,(,,, ,,,,,,, ,,,, ,,,,,,,,, ,,,,,,, ;,,,,,, ,, ,,;, ,,,,,(,,, ,,,,,,,,,, ,,,, ,, ,,,,,;, ,,,,, ,, ,, ,,, ,,,,, ,,,,, ,, ,,,,,,,,,，,,, ,,,,,,,,,,, ,, ,,, ,,,,,,,,,,, ,,,,,, ,, ,,,,,, ,,, ,,, ,;;,,,,, ,,,,,,,, ,,,,,,,,,,, ,,,,,,, , ,,,,,,,;, ,,,, ,, ,;,,,,,

,( ,,, ,,,,,:,,,,,,,,,;,,,,;,, ,,,,,,,,,,,;,,,,,,,,,;,,,,, ,,,,,,,,,, ,,,, 现在部分科研机构都购进了美国生产的,,,,干涉 , 引 言 仪，它的测试精度较高，可检测相互垂直的,个方向 上的平面度数据并自带计算程序，也可进行全平面 平晶用于测量光洁表面的平面度误差，它是检 测量。验量块、零件密封面、测量仪器以及测量工具工作面 的研合性和平面度的常用工具，广泛适用于光学加 ,基于激光平面干涉仪的平面度检测工厂、精密加工车间和阀门密封面的现场检测。 目前，平晶的平面度计量主要应用激光平面干 激光平面干涉仪基于等厚干涉原理，光源输出涉仪，它操作简单、数据直观，但是测试精度有限。 的光束经过扩束准直后成为平行光垂直入射到参考 收稿日期:,,,,—,,,,,;修回日期:,,,,,,,,,, 作者简介:孙佳嫒(,,,,一)，女，黑龙江哈尔滨人，上海计量测试技术研究院助理工程师，硕士研究生。主要从事平面度和角度测量研究。 ,,,,,,,,,,(;,,,,〔,(;,第,,鲁第,,斯 孙佳援等:平晶平日虚测量方法的研究面和被测面，经反射后(携带各自波面信息的两束光 置于干涉仪的参考面位置和被测面位置。以被测面相遇井产生干涉条纹。在,海光学精密机械研究所 为基准，所以参考匾相当丁沿,轴进行翻转，,个生产的,,,,,,,型激光平面干涉仪上拍摄了一幅测 平面上任意一点(,，,)的面形函数分别为,(,，,)，量平晶平面度时的干涉圈(见图,。 目(,，,)和;(,(,)，进行,次组合测嚣，如罔, 所示?】: 田』 詈。 —〔工〕 ，,,,,,,匪? 丐,固, 目,传统,面?棺法的,敬组合测昔 ,次干涉测量得到的面形函数为: ,(,，,)，，(一,，,),,,(,(,) (,) 围,在散光平面干涉但,拍摄的干涉躅 ;(,，,)，,(,，,),,:(,，,) (,) 垴过计算干涉条纹直径范围内的弯曲量与条纹 ;(,，,)，,(一,，,),,,(,，,) (,)间隔的此值乘以，,,(，为所用光源波长)来确定社 ,(,，,)，叫,，一,),帆(,，，) (,)测面的平面度。 ,,,,十涉仪自带的计算程序可鼠通过上述组 上述测量方法属〕。比较,,量，参考面的面彤偏 台测量计算出,个被测面水平方向和垂直方向的面差很小，相对于被测面的面形偏差可以忽略不计。 形数据。当检验一块高质晕的平面时则需要以更高质量的平 ,(, ,,,,,三面互检法面作为参考基准，此时测试精度受到参考面精度的 ,,,,,三面互检法将,个被测面两两组台得到, 〔互〕』田,制约。科研人员曾经尝试用液面作为参考面…，但 个波差函数,“(见图,。液而的稳定性差，易受外界干扰，难以达到预期目的。为了摆脱参考面对测量精度的限制，,,,,,, ,和,;,,,,,, ,, ,”提出并发展了无参考面的绝对检 ,卫,卫 ,, ,验方法。 圆～口二匕,基于,,,,干涉仪的平面度检测 ，〔卫〔玎, , ,,,,干涉仪的基本原理 目, ,,,,,,面?椅珐的,状组台测世 ,,,, ,,，—,,干涉仪以移相干涉术为原理( 得到的面形方程:采用斐索光路”?。激光器出射的光束经过一系列 ，(,，,)，;(一,，,),,,(,，,) (,)透镜后成为土,行光出射，投射在参考面和被测面上。 ，(,(,)，,(一,，,),,，(,，,) (,)经参考面和被测面反射后，,束反射光再经分束镜 ,。(,，,)，刖一,，,),帆(,，,) (,)反射(调整参考面和被刺面趋于平行，则可在出瞳处 ;(,，,)，烈一,，,),帆(,，,) (,)观察到干涉条纹。如果参考面接近理想

平面，光程 将被测面的面形函数和组合测量得到的波差函差就可以近似认为是被测面面形偏差的两倍，但在 数分别表示成,,项,,,,,,多项式的函数，则上式高精度平面测量中(教测面和参考面精度相当，甚 (,)、式(,)、式(,)、式(,)可以表示为: , ,至更高)，光程差就是被测面和参考面面形偏差之和的,倍。 ?”。(”)，?,((一,), ,,(,传统三面互检法 ?,,,,,(?) (,) 选取,个被测平面,，,，;进行两两组合，分别 计 量 学 报 ，?,，(一?),?,,(』，, 量。。小川，如“。，):量。七， (,,) , , , ?？((?)，?,，(一?),?‰,((,，,) (,,)其中，？、,(、？为,、,、, ,个面第,项前的,,,,,,多项式系数。。?。为平面，旋转后第,项前的 ,,一,,,多项式系数。,”,“、,”毗分别为,改组合测量得到的渡差面的第,项前的,,,,,,多项式系数。?(,，,)为直角坐标系中第,项,,,,,,多项式。 被测面的系敷解的表达式可以分为,类(分别是:第一类:旋转对称项;第二类:关于,的偶甬数但非旋转对称项;第三类:关于,为奇函数且关于,为偶函数的项;第四类:关于，为奇函数且关于,为奇函数的项。这,项都是关于,”,。、,“和,“的表达式，而,?,(、,。和,。。是已知量，那么,个被测面的,,,,,,多项式系数就町计算得到，进而复现被测面的置维面形。,(,实验数据 选取,个精度相当的平面，根据,,,,三面互检法计算出被测面的,,,,,,多项式系数，其中第,捉旋转测量中,相对于,旋转,,,(得到的三维两形分布如图,所示。 三维丽形分布的评价数据如袅,所示 襄, 面形分布的评价数据 围,阳,,面?碱法复原的,维面形分布 在传统三面互检法和,,,,,三面互柱法的测量结果中取一个面水平方向的数据进行对比，见图,， ,,《,,目图,所示。 不同测试方法得到的面形分布如表,所示。 表,不同打法的测试结果的对, ,,向像紊 圈,传统～面互检涪计算得到的水平方向面形轮廓 ,种不同方法得到的面形曲线走势相符，面形 高度数据相近，测试结果的评价数据在相同数量 级上。第,,卷第,,期 孙佳媛等:平晶平面度测量方法的研究 , ,, , , 第四类系数表达式的分母中含有,,,，啦，为了使系数 , ,, ,, 表达式有意义，则第,次测量的旋转角度西不能选 一 , ,, , , ,,。，,,。，,,。，,,,，,,。等。利用绝对测量的方法对, 一 , , , ,, ,,,趣恒蔽阻 , , , , ,, 个高精度平面进行了测试，对比了同一平面水平方 向的测量结果，符合较好，为高精度平面的计量提供 了有效方法。 图, ,,,,,三面互检法计算得到的水平方向面形轮廓 〔 参考文献】, 结 论 〔,〕马拉卡拉,(光学车间检验〔,〕(北京:机械工业出 版，,,,,。,,—,,( 本文介绍了,种检测平晶平面度的方法，并针 〔,〕 ,;,,,, ,，,;,,,,,, ,(，,,,,,,,,,,,,,; ,,,,,,, ,, ,,,,,, ,,,,,;,,，,,,,,,,, ,, ,,,,;, ,，，，〔,〕(,(,,,,，,,(,,对其中,种方法列举了实验数据。激光平面干涉仪 ,,,,,?,,,,,,,，,,,,,,,,,，,,,,，,,—,,,(较为常用，但是它的测量精度受限于参考面精度，无 〔,〕,;,,,, ,，,,,,,,,, ,(,,,;,,, ,,,,,,,,,,, ,, ,,,,,,,,,法精确计算出面形分布。在,,,,干涉仪上可实现 〔,〕(,,,,,,, ,,,池，,,,,，,(,):,,,,—,,,,(无参考面的绝对测

量，精确绘制被测面的面形分布。 〔,〕郁道银，谈恒英(工程光学〔,〕(北京:机械工业出版,,,,干涉仪对环境变化较敏感，应在密闭的空间 社，,,,,，,,,—,,,(进行实验，保持空气平稳减少干扰，并在结果稳定的 〔,〕 ,,,,, , ,(,,,,,,,, ,,,,,,,,,,, ,,蚰,,,,;,, ,,,,〔,〕(情况下进行记录。在,,,,,三面互检法中，第三类和 ,,,,蒯,,,,,,,,,,,，,,,,，,,(,):,,,—,,,(

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